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      硅片抗彎強度測試機取樣方法

      更新時間:2021-11-25  瀏覽次數:

      硅片抗彎強度測試機取樣方法

      1硅片抗彎強度與硅片內在質量和表面損傷狀況有關,一般力學參數都有一定的分散度,因此每組試樣作研究時需10片左右,抽檢時可按有關抽樣標準或供需雙方商定。

      2試樣表面應符合GB12964GB12965要求。

      3將試樣用石臘:松香=2:1配成的粘合劑粘在玻璃板上,用直徑40mrn的割圓套頭在臺鉆割成直徑40mrn的圓片。割圓位置規定如下:直徑小于80mm的硅片在同心圓位置;直徑80rnm長硅片在偏離主參考面45。位置割第一個圓。

      4試樣用適當溶劑去臘,用洗滌劑清洗潔凈,去離子水沖洗,烘干后放入干燥器中備用

      硅片抗彎強度測試機取樣方法

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